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等离子净化是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。等离子净化放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。等离子净化子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。等离子净化废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应， 等离子净化*终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。